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掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析

掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析——優(yōu)于4nm超高分辨率桌面SEM。真空分隔技術(shù)實(shí)現(xiàn)30秒快速換樣,支持36萬倍放大及原位拉伸/加熱測試。適用新能源、半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域

  • 產(chǎn)品型號(hào):ZEM18 掃描電鏡SEM
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2026-01-01
  • 訪  問  量:33
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產(chǎn)品詳情

掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析-ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡,融合了眾多創(chuàng)新技術(shù),不僅成像效果,而且便于攜帶,能夠滿足多樣化的應(yīng)用需求。在國內(nèi)外,ZEM系列以其定位和多樣化型號(hào),已在成像清晰度、用戶友好性以及系統(tǒng)整合性等方面達(dá)到了標(biāo)準(zhǔn)。

該系列產(chǎn)品以其高度的集成性和多樣化的配置選項(xiàng)而著稱,用戶界面簡潔,易于學(xué)習(xí)和操作,即使是非專業(yè)用戶也能迅速掌握。配備的軟件支持整個(gè)工作流程,從樣品準(zhǔn)備、參數(shù)調(diào)整到圖像分析,提供了一體化的高效解決方案。ZEM系列在新材料、新能源、生物醫(yī)藥和半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域均顯示出了其強(qiáng)大的分析能力,助力科研工作者深入探索微觀世界的神秘。因其性價(jià)比,ZEM系列已成為眾多高校、研究機(jī)構(gòu)和企業(yè)重點(diǎn)選擇的臺(tái)式掃描電鏡。

掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析

• 產(chǎn)品參數(shù):


主要指標(biāo)ZEM20
加速電壓20kV
分辨率優(yōu)于4nm
放大倍數(shù)360000
燈絲類型預(yù)對中鎢燈絲
換樣時(shí)間<1min(30s)
真空模式高真空
低真空(1-60Pa)(選配)
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍三軸樣品臺(tái)
五軸樣品臺(tái)(選配)
導(dǎo)航相機(jī)光學(xué)導(dǎo)航、艙內(nèi)相機(jī)
探測器BSE, SE
拓展能力選配減速,可集成EDS、原位臺(tái)

掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析

• 產(chǎn)品特色:

▲ 真空分隔技術(shù) :采用獨(dú)特真空設(shè)計(jì),電子槍和樣品倉真空分離,換樣時(shí)間小于1min。

▲ 超大樣品倉:提供了更大的樣品存儲(chǔ)空間,方便用戶操作。

▲ 超高分辨率:極限放大倍數(shù)達(dá)到36萬倍,分辨率4nm@20kV。

▲ 選配減速模式:允許弱導(dǎo)電樣品在不噴金的情況下進(jìn)行觀察。

▲ 倉內(nèi)攝像頭:樣品倉內(nèi)置高清攝像頭,原位實(shí)驗(yàn)時(shí)可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品原位變化。

• 可拓展原位電鏡附件列表:

SEM芯片加熱臺(tái),SEM加熱爐,SEM電池臺(tái),SEM液體電化學(xué)臺(tái),SEM氣體臺(tái),SEM拉伸臺(tái),SEM-TEC冷臺(tái),SEM液氮冷臺(tái),SEM電學(xué)探針臺(tái),SEM通光等掃描電鏡原位測試系統(tǒng) 。

掃描電子顯微鏡 半導(dǎo)體鍵合線表面形貌分析


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